低溫蒸發是近年來新發明的一種氣態分離技術。主要是利于廢水中其他物質的沸點低于水的特點，開發的一種物理提純的技術，當溫度達到水的沸點時，水分子大量揮發 ，從而得到純度更高的蒸餾水， 為了防止常溫或者高溫對廢水中有害物質的破壞，經常會采取降壓的方式，來降低液體的沸點，從而降低成本，保護再生水原有的特性。